質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):
分子式:CF4 分子量:88.005 | |
項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
四氟化碳純度(CF4) 10-2(v/v) ≥ |
99.999 |
氧氣(O2) 10-6(v/v) ≤ |
1 |
氮?dú)?N2) 10-6(v/v) ≤ |
4 |
水分(H2O) 10-6(v/v) ≤ |
1 |
二氧化碳(CO2) 10-6(v/v) ≤ |
1 |
一氧化碳(CO) 10-6(v/v) ≤ |
0.3 |
酸度(以HF計(jì)) 10-6(m/m) ≤ |
0.1 |
其他氟碳化合物 10-6(v/v) ≤ |
1 |
六氟化硫(SF6) 10-6(v/v) ≤ |
1 |
雜質(zhì)總和 10-6(v/v) ≤ |
10 |
性狀:
四氟化碳相對分子量88.00。在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,不易溶于水。熔點(diǎn)(101.325kPa):-186.8℃;沸點(diǎn)(101.325kPa):-128.0℃;液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m³;氣體密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m³。
用途:
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻;在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。四氟化碳的溶氧性很好,被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。
貯存:
應(yīng)存放于陰涼干燥、通風(fēng)良好的場所。
運(yùn)輸:
運(yùn)輸時,四氟化碳?xì)馄可蠎?yīng)附有GB190中制定的標(biāo)志。
包裝:
四氟化碳可用無縫鋼瓶或鋁合金容器裝運(yùn),通常采用47L、40L、10L、8L等無縫鋼瓶充裝,充裝壓力12.5MPa,也可根據(jù)客戶需要選用各種容器的氣瓶。
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